Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 6П2.151/П 78 Заглавие : Проблемы электронного материаловедения : сборник научных трудов Выходные данные : Новосибирск: Наука, Сибирское отделение, 1986 Колич.характеристики :167, [1] с.: граф., рис., табл., фот.; 22 см Коллективы : Институт неорганической химии (Новосибирск) Примечания : Библиография в конце статей Цена : 1.80, р. УДК : 6П2.151 Предметные рубрики: Электронное материаловедение Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): информационное обеспечение работ по моделированию электронных устройств--получение материалов с заданными свойствами--плазмохимические процессы--сухая вакуумная микролитография--получение заданных слоев и структур полупроводников Экземпляры :ТО(1) Свободны : ТО(1) Доп.точки доступа: Кузнецов, Ф. А. \ред.\; Борисова, Л. А. \рец.\; Репинский, С. М. \рец.\; Институт неорганической химии (Новосибирск)