Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 6П2.151/Г 52 Автор(ы) : Глазков, Илья Михайлович Заглавие : Оборудование для производства фотошаблонов и выполнения операций фотолитографии. Выходные данные : Москва: "Советское радио", 1975 Колич.характеристики :72 с: ил.; 19см Примечания : Библиогр. в конце ст.69-72 (83) Цена : 0.21, р. УДК : 6П2.151 Предметные рубрики: Электроника Экземпляры :ТО(1) Свободны : ТО(1)