Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 6П2.151/Р 86 Автор(ы) : Румак, Николай Владимирович Заглавие : Система кремний-двуокись кремния в МОП-структурах Выходные данные : Минск: Наука и техника, 1986 Колич.характеристики :239, [1] с.: рис., табл.; 21 см Коллективы : Примечания : Библиография в конце книги Цена : 1.80, р. УДК : 6П2.151 Предметные рубрики: Толстые пленки Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): металло-органические соединения--толстые пленки--твердотельная микроэлектроника Экземпляры :ТО(1) Свободны : ТО(1) Доп.точки доступа: Колешко, В. М. \ред.\