Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 6П2.151/О 58 Автор(ы) : Онегин Е.Е. Заглавие : Точное машиностроение для микроэлектроники : научное издание Выходные данные : Москва: Радио и связь, 1986 Колич.характеристики :22 с.: ил.; 21см Цена : 0.25, р. УДК : 6П2.151 Предметные рубрики: Микроэлектроника-- Полупроводниковые приборы Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): точное машиностроение--микроэлектроника Экземпляры :ТО(1) Свободны : ТО(1)