Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 6П2.151/Т 38 Заглавие : Технология ионного легирования : материал технической информации Выходные данные : Москва: "Советское радио", 1974 Колич.характеристики :158 с.: ил.; 17.5см Примечания : Библиогр.: с. 140 - 156 Цена : 0.34, 0.51, р. УДК : 6П2.151 Предметные рубрики: полупроводниковые приборы Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): полупроводники--легирование ионное Экземпляры : всего : ТО(2) Свободны : ТО(2) Доп.точки доступа: Намба, С. \под ред.\; Овчаров, В. Ф. \пер. с япон.\; Павлов, Павел Васильевич \под ред., авт. предисл.\