Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 6П.2151/Т 38 Автор(ы) : Скворцов, Игорь Михайлович, Лапидус, Илья Иосифович, Орион, Борис Валентинович, Кожитов, Лев Васильевич, Аникин, Виктор Константинович Заглавие : Технология и аппаратура газовой эпитаксии кремния и германия : научное издание Выходные данные : Москва: Энергия, 1978 Колич.характеристики :136 с.: ил.; 22.5см Цена : 0.50, р. УДК : 6П.2151 Предметные рубрики: Газоразрядная техника-- Электронная техника Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): газораспределительные системы--газовое травление--легирование--автолегирование--эпитаксиальные слои--термодинамическое равновесие Экземпляры :ТО(1) Свободны : ТО(1) Доп.точки доступа: Скворцов, Игорь Михайлович; Лапидус, Илья Иосифович; Орион, Борис Валентинович; Кожитов, Лев Васильевич; Аникин, Виктор Константинович