Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 6П2.151/С 77 Автор(ы) : Старюк Ю.В., Рубцов И.Н. Заглавие : Автоматизация сборочных процессов в полупроводниковом производстве : Обзоры по электронной технике. Вып. 14 (59) Выходные данные : Москва: ЦНИИ “Электроника”, 1972 Колич.характеристики :50 с.: ил.; 21 см Серия: Полупроводниковые приборы Примечания : Библиогр.: с. 48 (43 назв.) Цена : 0.37, р. УДК : 6П2.151 Предметные рубрики: Полупроводниковое производство-- Сварочное производство Экземпляры :ТО(1) Свободны : ТО(1) Доп.точки доступа: Рубцов, И.Н.