Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 6П2.151/Ш 44 Автор(ы) : Шелпакова, Ирина Рудольфовна, Юделевич Г.И., Аюпов, Борис Менгареевич Заглавие : Послойный анализ материалов электронной техники : научное издание Выходные данные : Новосибирск: Наука. Сибирское отделение, 1984 Колич.характеристики :181 с.: ил.; 22.5см Коллективы : Академия наук СССР. Сибирское отделение, Институт неорганической химии Примечания : Библиогр.: с. 159 - 179 Цена : 2.10, р. УДК : 6П2.151 Предметные рубрики: электровакуумные приборы Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): электронные приборы--производство--материалы--полупроводники--химический анализ Экземпляры :ТО(1) Свободны : ТО(1) Доп.точки доступа: Юделевич , Г.И.; Юделевич, Иосиф Гершевич; Аюпов, Борис Менгареевич; Карпов, Ю. А. \отв. ред.\; Академия наук СССР. Сибирское отделение; Институт неорганической химии