Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 6П2.151/Ш 96 Автор(ы) : Шуман Г. Заглавие : Основные возможности и ограничения методов фотолитографии : Обзоры по электронной технике : Выпуск 8 (307) Выходные данные : Москва: Электроника , 1975 Колич.характеристики :56 с.: ил.; 22.5см Цена : 0.34, р. УДК : 6П2.151 Предметные рубрики: Электроника Экземпляры :ТО(1) Свободны : ТО(1)