Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 6П4.2.151/Д 18 Автор(ы) : Данилин, Борис Степанович, Киреев, Валерий Юрьевич Заглавие : Ионное травление микроструктур : научное издание Выходные данные : М.: Советское радио, 1979 Колич.характеристики :103 с.: ил.; 21см Серия: Массовая библиотека инженера. Электроника; 21 Примечания : Библиогр.: с. 95 - 102 (158) Цена : 0.30, р. Предметные рубрики: Радиоаппаратура (радиоэлектронная аппаратура) Экземпляры : всего : ТО(3) Свободны : ТО(3) Доп.точки доступа: Киреев, Валерий Юрьевич