Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 6П2.151/З-86 Автор(ы) : Зорин, Евгений Иванович, Павлов, Павел Васильевич, Тетельбаум, Давид Исаакович Заглавие : Ионное легирование полупроводников : научное издание Выходные данные : Москва: Энергия, 1975 Колич.характеристики :128 с.: рис.; 19см Серия: Б-ка радиотехнолога; вып. 6 Примечания : Библиогр.: с. 120-128 (139) Цена : 0.39, р. УДК : 6П2.151 Предметные рубрики: Полупроводниковые приборы Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): радиационные дефекты--сложные полупроводники--полупроводниковые приборы--ионно-легированные полупроводники Экземпляры :ТО(1) Свободны : ТО(1) Доп.точки доступа: Павлов, Павел Васильевич; Тетельбаум, Давид Исаакович