Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 6П2.154/Ч 49 Автор(ы) : Черняев, Владимир Николаевич Заглавие : Технология производства интегральных микросхем и микропроцессоров : учебник . -2-е изд., перераб. и доп Выходные данные : Москва: Радио и связь, 1987 Колич.характеристики :464 с.: рис., табл; 21см Примечания : Библиогр. : с. 455 (26 назв.) Предм. указ. : с. 456-460 Цена : 1.40, р. УДК : 6П2.154 Предметные рубрики: Радиоэлектроника-- Общая радиотехника Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): гибридные ис--микропроцессоры--полупроводниковые ис--технологические процессы--учебники--учебные пособия Аннотация: Рассмотрены физико-технологические основы процессов изготовления интегральных микросхем и формирования сложных пленочных структур элементов интегральных микроэлектронных устройств. Описаны перспективные технологические методы производства интегральных полупроводниковых и гибридных микросхем и микропроцессоров, а также используемое технологическое оборудование. По сравнению с первым изданием (1977 г.) материал значительно обновлен и методически переработан. Экземпляры :ТО(1) Свободны : ТО(1)