Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 6П9.5/В 24 Автор(ы) : Боков Е. С., Корсаков В. С., Мишачев В. И., Лубашевская А. В. Заглавие : Введение в фотолитографию : научное издание Выходные данные : Москва: Энергия, 1977 Колич.характеристики :400 с: ил.; 21 см Примечания : Библиогр.: с. 379-397 Цена : 1.47, 1.47, р. Предметные рубрики: Электроника-- Фоторезисторы Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): фотолитография--фотошаблоны--воспроизведение изображений--рентгеновские лучи--фоторезисторы Аннотация: Освещены основные проблемы фотолитографии и оценены перспективы ее развития. Рассмотрены свойства фоторезисторов, процессы образования фоторезисторных покрытий. Экземпляры :ТО(1) Свободны : ТО(1) Доп.точки доступа: Боков, Е. С.; Корсаков, В. С.; Мишачев, В. И.; Лубашевская, А. В.; Лаврищев, В. П. \ред.\