Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 6Ф2.1/Д 36 Автор(ы) : Деркач, Виталий Павлович, Кияшко, Галина Федоровна, Кухарчук, Маргарита Сергеевна Заглавие : Методы повышения параметров БИС Выходные данные : Киев: Вища шк., 1986 Колич.характеристики :152 с.: рис.; 20 см. Примечания : Лит.: с. 143-152 Цена : 1.40, 1.40, р. Предметные рубрики: Микросхемы-- Радиовещание Географич. рубрики: Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): биполярные интегральные схемы--біполярні інтегральні схеми--оптоэлектронные интегральные структуры--оптоелектронні інтегральні структури--акустоэлектронные интегральные структури--акустоелектронні інтегральні структури--фотолитография--фотолітографія--электронолитография--електронолітографія--рентгенолитография--рентгенолітографія--ионолитография--іонолітографія--вакуумно-плазменная микрообработка--вакумно-плазмова мікрообробка--ионное внедрение--іонне впровадження Аннотация: Принципы работы, схемные и конструктивные особенности больших и сверхбольших интегральных микросхем. Экземпляры :ТО(1) Свободны : ТО(1) Доп.точки доступа: Кияшко, Галина Федоровна; Кухарчук, Маргарита Сергеевна