Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 6Ф2.1/Ж 73 Автор(ы) : Жиров, Григорий Антонович Заглавие : Технология гибридных интегральных микросхем : учебное пособие Выходные данные : Киев: Вища школа, 1976 Колич.характеристики :240 с.: рис., табл.; 21 см. Примечания : Прил.: с.229-235. - Лит.: с. 236-238 Цена : 0.68, 0.68, р. Предметные рубрики: Интегральные микросхемы-- Радиовещание Географич. рубрики: Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): технологии микросхем--нанесение пленок--гибридные интегральные микросхемы--изготовление фотошаблонов--изготовление свободных масок Аннотация: Теория и практика технологии гибридных интегральных микросхем: даны расчеты размеров и расположение на подложке пассивных пленочных элементов микросхем. Экземпляры :ТО(1) Свободны : ТО(1) Доп.точки доступа: Некрасов, М. М. \редактор.\