Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 537.75/П 38 Автор(ы) : Плешивцев, Николай Васильевич Заглавие : Катодное распыление Выходные данные : Москва: Атомиздат, 1968 Колич.характеристики :347 с.: ил.; 22 см. Примечания : Библиография: с. 297-334. - Предметный указатель: с. 335-339 Цена : 1.73, 1.73, р. Предметные рубрики: Физика электронных и ионных явлений-- Физика-- Естественные науки Экземпляры :КХР(1) Свободны : КХР(1)