Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 016:5/З-40 Заглавие : Защитные плёнки в производстве полупроводниковых приборов : (Окисел кремния, нитрид кремния, окисел алюминия и т.д.). Отечественная и иностранная литература за 1968-1969 г. II кв. 46(93) Выходные данные : Москва: Электроника, 1969 Колич.характеристики :192 с. ; 21 см Коллективы : Министерство электронной промышленности СССР, Тематические указатели литературы Серия: Полупроводниковые приборы Цена : 0.52 р. Предметные рубрики: Отраслевые библиографические пособия-- указатели Экземпляры :КХР(1) Свободны : КХР(1) Доп.точки доступа: Щеглов, В.В. \ред.\; Ижмякова, Л.Ф. \сост.\; Министерство электронной промышленности СССР; Тематические указатели литературы