Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 537/Е 83 Автор(ы) : Есипова, Маргарита Андреевна Заглавие : Химическая обработка полупроводниковых материалов Выходные данные : Москва: Электроника, 1971 Серия: Обзоры по электрон. технике. Технология и организация производства; вып. 12 (285) август,1971 Примечания : Библиография: с. 90-95 Цена : 0.50 р. Предметные рубрики: Электричество и магнетизм Экземпляры :КХР(1) Свободны : КХР(1)