Национальная библиотека Республики Дагестан им. Р. Гамзатова

Главная

Упрощенный режим

Описание

Базы данных

Каталог Национальной Библиотеки Республики Дагестан- результаты поиска

Вид поиска

Каталог Национальной Библиотеки Республики Дагестан

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: <.>A=Броудай, Ивор$<.>

Общее количество найденных документов : 1

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 6П2.151/Б 88
Автор(ы) : Броудай, Ивор, Мерей, Джулиус
Заглавие : Физические основы микротехнологии
Параллельн. заглавия :The Physics of Microfabrication
Выходные данные : Москва: Мир , 1985
Колич.характеристики :496 с.: рис., табл.; 22 см
Примечания : Прил.: с. 460-664. - Лит.: с. 465-483. - Предм. указ.: с. 484-492
Цена : 2.60, 2.60, р.
УДК : 6П2.151
Предметные рубрики: Микроэлектроника-- Мікросхемотехніка
Географич. рубрики:
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микроэлектронные приборы--мікроелектронні прилади--тонкие пленки--тонкі плівки--литографические методы--літографічні методи--пучки частиц--пучки частин--изготовление микросхем--виготовлення мікросхем--микроскопия--мікроскопія--микрозонды--мікрозонди--лазерное сканирование--лазерне сканування--легироание--легування
Аннотация: Технологические процессы микроэлектроники, включая субмикронную литографию, сухое травление, лазерный и электронно-лучевой отжиг.
Экземпляры :ТО(1)
Свободны : ТО(1)
Найти похожие

Тематический навигатор

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)