Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Номер ЧБ
 

Вход/Регистрация через ЕСИА

Базы данных


Каталог Национальной Библиотеки Республики Дагестан- результаты поиска

Вид поиска

Область поиска
Формат представления найденных документов:
полный информационныйкраткий
Поисковый запрос: <.>A=Таруи, Ясуо$<.>
Общее количество найденных документов : 1
1.

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 6П2.15/Т 22
Автор(ы) : Таруи, Ясуо
Заглавие : Основы технологии сверхбольших интегральных схем : научное издание
Выходные данные : Москва: Радио и связь, 1985
Колич.характеристики :479 с.: ил.; 22 см
Разночтения заглавия :Загл. обл.: Основы технологии СБИС
Примечания : Библиогр.: с. 454 - 474
Цена : 2.70, 2.70,
УДК : 6П2.15
Предметные рубрики: радиоаппаратура (радиоэлектронная аппаратура)
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микроэлектронные схемы интегральные сверхбольшие--производство
Содержание : Общие сведения ; Электронно-лучевая литография ; Методы переноса рисунка ; Методы контроля шаблонов ; Методы выращивания кристаллов ; Технологические процессы изготовления СБИС ; Основные методы оценок при испытаниях ; Основные методы конструирования устройств в интегральном исполнении
Экземпляры :ТО(1)
Свободны : ТО(1)
Найти похожие

 
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)