Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Номер ЧБ
 

Вход/Регистрация через ЕСИА

Базы данных


Каталог Национальной Библиотеки Республики Дагестан- результаты поиска

Вид поиска
Каталог Национальной Библиотеки Республики Дагестан
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полный информационныйкраткий
Поисковый запрос: <.>K=ИОННО-ЛУЧЕВАЯ ЛИТОГРАФИЯ<.>
Общее количество найденных документов : 1
1.

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 6П2.151/В 15
Автор(ы) : Валиев, Камиль Ахметович, Раков, Александр Васильевич
Заглавие : Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике
Выходные данные : Москва: Радио и связь, 1984
Колич.характеристики :349 с.: рис., табл.; 22 см
Примечания : Библиография: с. 338-347
Цена : 2.80, р.
УДК : 6П2.151
Предметные рубрики: Электронные пучки-- Формирование
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): субмикронная литография--электронные пучки--электроны--ионно-лучевая литография--фотолитография
Экземпляры :ТО(1)
Свободны : ТО(1)
Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
Распределенный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)