Национальная библиотека Республики Дагестан им. Р. Гамзатова

Главная

Упрощенный режим

Описание

Базы данных

Каталог Национальной Библиотеки Республики Дагестан- результаты поиска

Вид поиска

Каталог Национальной Библиотеки Республики Дагестан

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: <.>K=оптическая спектрометрия<.>

Общее количество найденных документов : 1

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 6П2.151/Б 95
Автор(ы) : Быстров, Юрий Александрович, Колгин, Евгений Алексеевич, Котлецов, Борис Николаевич
Заглавие : Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве : материал технической информации
Выходные данные : Москва: Радио и связь, 1988
Колич.характеристики :167 с.: ил.; 21 см
Примечания : Библиогр.: с. 162 - 166
ISBN, Цена 5-256-00006-3: 0.65, 0.65,
УДК : 6П2.151
Предметные рубрики: радиоаппаратура (радиоэлектронная аппаратура)
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микроэлектронные схемы интегральные--размеры--технический контроль--телевизионные методы контроля--дифракционные методы контроля--качество полупроводниковых пластин--нанесение пленок--оптическая спектрометрия
Аннотация: Методы и средства измерения линейных размеров, толщин и глубин топологических элементов интегральных микросхем.
Экземпляры :ТО(1)
Свободны : ТО(1)
Найти похожие

Тематический навигатор

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)