Национальная библиотека Республики Дагестан им. Р. Гамзатова

Главная

Упрощенный режим

Описание

Базы данных

Каталог Национальной Библиотеки Республики Дагестан- результаты поиска

Вид поиска

Каталог Национальной Библиотеки Республики Дагестан

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: <.>K=ИОННО-ЛУЧЕВАЯ ЛИТОГРАФИЯ<.>

Общее количество найденных документов : 1

6П2.151
В 15

Валиев, Камиль Ахметович.
Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике [Текст] / К. А. Валиев, А. В. Раков. - Москва : Радио и связь, 1984. - 349 с. : рис., табл. ; 22 см. - Библиография: с. 338-347. - 3100 экз.. - (в пер.) : 2.80 р.

УДК

6П2.151

Рубрики: Электронные пучки--Формирование
Кл.слова (ненормированные):
СУБМИКРОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ -- ЭЛЕКТРОННЫЕ ПУЧКИ -- ЭЛЕКТРОНЫ -- ИОННО-ЛУЧЕВАЯ ЛИТОГРАФИЯ -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ

Доп.точки доступа:
Раков, Александр Васильевич
~Экземпляры всего: 1
ТО (1)
Свободны: ТО (1)
Найти похожие

Тематический навигатор

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)