Национальная библиотека Республики Дагестан им. Р. Гамзатова

Главная

Упрощенный режим

Описание

Базы данных

Каталог Национальной Библиотеки Республики Дагестан- результаты поиска

Вид поиска

Каталог Национальной Библиотеки Республики Дагестан

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: <.>K=телевизионные методы контроля<.>

Общее количество найденных документов : 1

6П2.151
Б 95

Быстров, Юрий Александрович.
Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве [Текст] : материал технической информации / Ю. А. Быстров, Е. А. Колгин, Б. Н. Котлецов. - Москва : Радио и связь, 1988. - 167 с. : ил. ; 21 см. - Библиогр.: с. 162 - 166. - 9 000 экз.. - ISBN 5-256-00006-3 : 0.65 р.

УДК

6П2.151

Рубрики: радиоаппаратура (радиоэлектронная аппаратура)
Кл.слова (ненормированные):
микроэлектронные схемы интегральные -- размеры -- технический контроль -- телевизионные методы контроля -- дифракционные методы контроля -- качество полупроводниковых пластин -- нанесение пленок -- оптическая спектрометрия
Аннотация: Методы и средства измерения линейных размеров, толщин и глубин топологических элементов интегральных микросхем.

Доп.точки доступа:
Колгин, Евгений Алексеевич; Котлецов, Борис Николаевич
~Экземпляры всего: 1
ТО (1)
Свободны: ТО (1)
Найти похожие

Тематический навигатор

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)