Национальная библиотека Республики Дагестан им. Р. Гамзатова

Главная

Упрощенный режим

Описание

Базы данных

Каталог Национальной Библиотеки Республики Дагестан- результаты поиска

Вид поиска

Каталог Национальной Библиотеки Республики Дагестан

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: <.>A=Чехович, Евгений Казимирович$<.>

Общее количество найденных документов : 1

6П2.151
Ч 56

    Чехович, Евгений Казимирович.
    Оптико-электронные методы автоматизированного контроля топологии изделий микроэлектроники [Текст] : научное издание / Е. К. Чехович ; Ин-т электроники АН БССР. - Минск : Наука и техника, 1989. - 213 с. : рис. ; 21см. - Библиогр.: с. 200-211 (267 назв.). - 1700 экз.. - ISBN 5-343-00087-8 : 1.70 р.
    Содержание:
Особенности контроля топологии изделий микроэлектроники
Методы преобразования информации о размерах элементов топологии при сканировании изображений изделий
Преобразование информации о линейных размерах при сканировании изделий сфокусированным излучением
Методы контроля с использованием интегральных оптических преобразований
Преобразователи информации и исполнительные устройства средств автоконтроля микроструктур
Методы электронной обработки информации

УДК

6П2.151

Рубрики: Автоматизированный контроль с помощью ЭВМ
микроэлектроника

Доп.точки доступа:
Пилипович, В. А. \ред.\; Ин-т электроники АН БССР
~Экземпляры всего: 1
ТО (1)
Свободны: ТО (1)
Найти похожие

Тематический навигатор

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)