М 54 Металлоорганические соединения в электронике [Текст] : монография / Г. А. Разуваев [и др.] ; НИИХ. - Москва : Наука, 1972. - 479 с. : ил., табл. ; 26.5см. - 2550 экз.. - (в пер.) : 3.23 р.
Кл.слова (ненормированные): МОС -- ЛАЗЕРЫ -- ПРОВОДЯЩИЕ ТОНКИЕ ПЛЕНКИ -- РЕЗИСТИВНЫЕ ТОНКИЕ ПЛЕНКИ -- ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ТОНКИЕ ПЛЕНКИ -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ -- ЭПИТАКСИАЛЬНЫЕ СТРУКТУРЫ -- ЧИСТЫЕ МАТЕРИАЛЫ -- ЗАЩИТНЫЕ ПОКРЫТИЯ -- МАТЕРИАЛЫ ДЛЯ ЭЛЕКТРОНИКИ -- ОСАЖДЕНИЕ ПЛЕНОК ИЗ ПАРОВОЙ ФАЗЫ -- РАСПАД МЕТАЛЛООРГАНИЧЕСКИХ СОЕДИНЕНИЙ -- ТЕРМОРАСПАД МЕТАЛЛООРГАНИЧЕСКИХ СОЕДИНЕНИЙ -- ПЛЕНКИ МЕТАЛЛОВ -- СИНТЕЗ МЕТАЛЛООРГАНИЧЕСКИХ СОЕДИНЕНИЙ Доп.точки доступа: Разуваев, Григорий Алексеевич; Грибов, Борис Георгиевич; Домрачев, Георгий Алексеевич; Саламатин, Борис Александрович; Горьковский государственный университет. Научно-исследовательский институт химии ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |