К 66 Корзо, Виктор Федорович. Пленки из элементоорганических соединений в радиоэлектронике [Текст] : научное издание / В. Ф. Корзо, В. А. Курочкин, В. П. Демин. - Москва : Энергия, 1973. - 192 с. : ил. ; 21см. - 5000 экз.. - 0.54 р.
Кл.слова (ненормированные): НЕОРГАНИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ -- ПИРОЛИТИЧЕСКИЕ ТЕХНОЛОГИИ -- ТОНКИЕ ПЛЕНКИ -- ПАССИВНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ МИКРОСХЕМ -- АКТИВНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ МИКРОСХЕМ -- ПЛЕНКИ МЕТАЛЛОВ -- ПЛЕНКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВ -- ПОЛУПРОВОДНИКИ -- ПЛЕНКИ ДИЭЛЕКТРИКОВ -- ДИЭЛЕКТРИКИ -- ПРОВОДЯЩИЕ ПОКРЫТИЯ -- ЗАЩИТНЫЕ ПОКРЫТИЯ -- ИЗОЛЯЦИЯ МИКРОПРИБОРОВ -- ПАССИВАЦИЯ МИКРОПРИБОРОВ -- ГЕРМЕТИЗАЦИЯ МИКРОПРИБОРОВ -- НАНЕСЕНИЕ ПЛЕНОК -- ТЕРМИЧЕСКОЕ ОКИСЛЕНИЕ -- ИСПАРЕНИЕ В ВАКУУМЕ -- КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ -- АНОДИРОВАНИЕ -- ПЛЕНОЧНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА Доп.точки доступа: Курочкин, Владимир Алексеевич; Демин, Виктор Петрович ~Экземпляры всего: 2 ТО (2) Свободны: ТО (2) |
Б 95 Быстров, Юрий Александрович. Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве [Текст] : материал технической информации / Ю. А. Быстров, Е. А. Колгин, Б. Н. Котлецов. - Москва : Радио и связь, 1988. - 167 с. : ил. ; 21 см. - Библиогр.: с. 162 - 166. - 9 000 экз.. - ISBN 5-256-00006-3 : 0.65 р.
Кл.слова (ненормированные): микроэлектронные схемы интегральные -- размеры -- технический контроль -- телевизионные методы контроля -- дифракционные методы контроля -- качество полупроводниковых пластин -- нанесение пленок -- оптическая спектрометрия Аннотация: Методы и средства измерения линейных размеров, толщин и глубин топологических элементов интегральных микросхем. Доп.точки доступа: Колгин, Евгений Алексеевич; Котлецов, Борис Николаевич ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |