Б 69 Блинов, Игорь Григорьевич. Оборудование полупроводникового производства [Текст] : учеб. пособие / И. Г. Блинов, Л. В. Кожитов. - Москва : Машиностроение, 1986. - 264 с. : ил. ; 21 см. - (Для вузов). - 11000 экз.. - 1 р. Рубрики: Электронная промышленность--Оборудование--Учебники и пособия Полупроводниковые приборы-- Производство --Учебники и пособия Кл.слова (ненормированные): ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ -- ИНТЕГРАЛЬНЫЕ МИКРОСХЕМЫ -- ВАКУУМНЫЕ СИСТЕМЫ -- МОНОКРИСТАЛЛЫ ПОЛУПРОВОДНИКОВ -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ -- ГАЗОВАЯ ЭПИТАКСИЯ -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ -- ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ Доп.точки доступа: Кожитов, Лев Васильевич ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |
А 85 Арсенид галлия в микроэлектронике [Текст] = VLSI Elctronics Microstructure Scince / [У. Уиссмен и др.] ; под ред. Н. Айнспрука, У. Уиссмена ; пер. с англ. под ред. В. Н. Мордковича. - Москва : Мир , 1988. - 555 с. : рис., табл. ; 22 см. - Авт. указ. на оборот. тит. л. - Библиогр. в конце глав. - Предм. указ.: с. 548-552. - 4 600 экз.. - ISBN 5-03-000130-1 (в пер.) : 4.90 р.
Електротехнічні матеріали і вироби--Наукові видання Кл.слова (ненормированные): изготовление интегральных схем -- виготовлення інтегральних схем -- граница раздела -- межа розділу -- полевые транзисторы -- польові транзистори -- цифровые интегральные схемы -- цифрові інтегральні схеми -- гетероструктурный транзистор -- гетероструктурний транзистор -- фотолитография -- фотоліторгафія -- барьеры Шоттки -- бар'єри Шотткі -- матрицы логических элементов -- матриці логічних елементів -- ионная имплантация -- іонна імплантація -- метод Берга-Барретта Аннотация: Разработки и технология изготовление арсенидгаллиевых интегральных схем, обладающих высокой стойкостью к воздействию радиации и высоких температур. Доп.точки доступа: Уиссмен, У.; Френсли, У.; Дункан, У.; Уестфел, Дж.; Айнспрук, Н. \ред.\; Уиссмен, У. \ред.\; Данилин, А. Б. \пер.\; Ерохин, Ю. Н. \пер.\; Налбандов, Б. Г. \пер.\; Эйдельман, Б. Л. \пер.\; Мордкович, В. Н. \ред.\ ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |
К 93 Курносов, А. И. Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем [Текст] : учебное пособие для вузов / А. И. Курносов, В. В. Юдин. - 2-е изд., перераб. и доп. - Москва : Высшая школа, 1979. - 367 с. : ил. ; 23см. - 18000 экз.. - (в пер.) : 1.20 р. Содержание: Особенности полупроводникового производства Механическая обработка полупроводниковых материалов Химическая и электрохимическая обработка полупроводников Фотолитография и фотошаблоны Эпитаксия Диффузия Ионная имплантация Конденсация в вакууме Методы защиты поверхности p-n-переходов Сборка и герметизация полупроводниковых приборов и интегральных микросхем Технология изготовления структур на полупроводниковых соединениях Технология изготовления биполярных интегральных микросхем Технология МДП интегральных микросхем
Доп.точки доступа: Юдин, В. В. ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |
К 93 Курносов, Анатолий Иванович. Методика обучения рабочих полупроводникового производства [Текст] : [метод. указания для мастеров произв. обучения] / А. И. Курносов. - Москва : Высшая школа, 1973. - 184 с. : ил. ; 21см. - 4000 экз.. - 0.26 р.
Кл.слова (ненормированные): ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |
К 93 Курносов, А. И. Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем [Текст] : учебное пособие для вузов / А. И. Курносов, В. В. Юдин. - Москва : Высшая школа, 1965. - 247 с. : ил. ; 23см. - 12000 экз.. - (в пер.) : 0.65 р. Содержание: Особенности полупроводникового производства Механическая обработка полупроводниковых материалов Химическая и электрохимическая обработка полупроводников Фотолитография и фотошаблоны Эпитаксия Диффузия Ионная имплантация Конденсация в вакууме Методы защиты поверхности p-n-переходов Сборка и герметизация полупроводниковых приборов и интегральных микросхем Технология изготовления структур на полупроводниковых соединениях Технология изготовления биполярных интегральных микросхем Технология МДП интегральных микросхем
Доп.точки доступа: Юдин, В. В. ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |
Б 90 Булкин, Анатолий Дмитриевич. Технология и оборудование производства силовых полупроводниковых приборов [Текст] : учебник для техникумов / А. Д. Булкин, Н. И. Якивчик. - Москва : Энергоатомиздат, 1984. - 254, [1] с. : рис., табл. ; 21 см. - (Для учащихся техникумов). - Предметный указатель: с. 250-252. - 6 700 экз.. - (в пер.) : 0.65 р.
Кл.слова (ненормированные): СИЛОВЫЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ -- ОБРАБОТКА ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ Доп.точки доступа: Якивчик, Николай Иванович ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |
В 15 Валиев, Камиль Ахметович. Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике [Текст] / К. А. Валиев, А. В. Раков. - Москва : Радио и связь, 1984. - 349 с. : рис., табл. ; 22 см. - Библиография: с. 338-347. - 3100 экз.. - (в пер.) : 2.80 р.
Кл.слова (ненормированные): СУБМИКРОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ -- ЭЛЕКТРОННЫЕ ПУЧКИ -- ЭЛЕКТРОНЫ -- ИОННО-ЛУЧЕВАЯ ЛИТОГРАФИЯ -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ Доп.точки доступа: Раков, Александр Васильевич ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |
Г 52 Глазков, Илья Михайлович. Генераторы изображений в производстве интегральных микросхем [Текст] / И. М. Глазков, Я. А. Райхман ; ред. Э. И. Точинский. - Минск : Наука и техника, 1981. - 144 с. : рис., табл. ; 20 см. - Лит.: с. 142-143 (39). - 1650 экз.. - (в пер.) : 0.85 р.
Кл.слова (ненормированные): литография -- фотолитография -- эволюция генераторов изображения -- генерирование изображений -- оптические генераторы изображений -- электроннолучевые генераторы изображений -- развитие микроэлектроники Аннотация: Процесс генерирования изображений в производстве интегральных микросхем. Доп.точки доступа: Райхман, Яков Аронович; Точинский, Э. И. \ред.\ ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |
М 74 Мокеев, Олег Константинович. Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем [Текст] : учебное пособие для технических училищ / О. К. Мокеев, А. С. Романов. - Издание второе, переработанное и дополненное. - Москва : Высшая школа, 1985. - 312 с. : ил., табл. ; 21.8 см. - 8000 экз.. - (в пер.) : 0.60 р.
Кл.слова (ненормированные): ПОЛУПРОВОДНИКИ -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ -- ХИМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА Доп.точки доступа: Романов, Александр Сергеевич ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |
П 73 Пресс, Феликс Павлович. Фотолитография в производстве полупроводниковых приборов [Текст] : научное издание / Ф. П. Пресс. - Москва : Энергия , 1968. - 200 с. : ил. ; 21 см. - Библиогр.: с. 191 - 199. - 8 000 экз.. - (в пер.) : 0.79 р.
Кл.слова (ненормированные): фотолитография -- полупроводниковые приборы -- производство ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |
И 73 Интегральные схемы. Основы проектирования и технологии [] : пер. с англ. / Г. Р. Мэдленд [и др.] ; под ред. К. И. Мартюшова. - Москва : "Советское радио", 1970. - 592 с. : ил. ; 20см. - 12000 экз.. - (в пер.) : 2.25 р.
Дескрипторы: интегральные микросхемы -- проектирование -- полупроводники -- тонкопленочные материалы -- технологии -- фотолитография -- кремниевые пластины -- сборка Доп.точки доступа: Мэдленд, Г. Р.; Дикен, Г. К.; Ричардсон, Р. Д.; Притчард, Р. Л.; Боуер, Ф. Г.; Крет, Д. Б.; Мартюшов, К. И. \ред.\ ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |
К 38 Кёпф, А. Фотолитография и офсетная репродукция [Текст] / А. Кёпф. - Москва : [б. и.], 1937. - 140 с. : ил. ; 22 см. - 3 000 экз.. - (в пер.) : 4.50 р.
Доп.точки доступа: Панкеева, Д.Е. \пер.\ ~Экземпляры всего: 1 ОЛИ (1) Свободны: ОЛИ (1) |
С 74 Справочник по расчету и конструированию СВЧ полосковых устройств : справ. / С. И. Бахарев [и др.] ; под ред. В. И. Вольмана. - М. : Радио и связь, 1982. - 328 с. : ил. ; 22см. - Библиогр.: с. 314-326. - 15000 экз.. - 1.60 р. Прил.: с. 300-313 Рубрики: Радиотехника--СВЧ техника Кл.слова (ненормированные): СВЧ ТЕХНИКА -- ПОЛОСКОВЫЕ ЛИНИИ ПЕРЕДАЧИ -- ДИЭЛЕКТРИКИ -- ОДИНОЧНЫЕ ПОЛОСКОВЫЕ ЛИНИИ -- СВЯЗАННЫЕ ПОЛОСКОВЫЕ ЛИНИИ -- КОНСТРУИРОВАНИЕ ПОЛОСКОВЫХ УСТРОЙСТВ -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ -- МИКРОПОЛОСКОВЫЕ СВЧ ПЛАТЫ -- ФОТОРЕЗИСТОРЫ -- ТРАВЛЕНИЕ Аннотация: Справочник содержит обширный материал по расчету симметричных, несимметричных, щелевых, копланарных и связанных полосковых линий передачи, а также неоднородностей в них. Даны электрические и конструктивные параметры диэлектрических и проводящих материалов, навесных и пленочных элементов. Рассмотрены этапы конструирования полосковых устройств и технология их изготовления. Приведены библиотека базовых элементов и алгоритмы для систем автоматизированного проектирования. Доп.точки доступа: Бахарев, С. И.; Вольман, В. И.; Либ, Ю. Н.; Мамонова, Н. М.; Муравцов, А. Д.; Вольман, В. И. \ред.\ ~Экземпляры всего: 2 ТО (2) Свободны: ТО (2) |
Д 36 Деркач, Виталий Павлович. Методы повышения параметров БИС / В. П. Деркач, Г. Ф. Кияшко, М. С. Кухарчук. - Киев : Вища шк., 1986. - 152 с. : рис. ; 20 см. - Лит.: с. 143-152. - 1500 экз.. - 1.40 р. Рубрики: Микросхемы--Радиовещание Кл.слова (ненормированные): биполярные интегральные схемы -- біполярні інтегральні схеми -- оптоэлектронные интегральные структуры -- оптоелектронні інтегральні структури -- акустоэлектронные интегральные структури -- акустоелектронні інтегральні структури -- фотолитография -- фотолітографія -- электронолитография -- електронолітографія -- рентгенолитография -- рентгенолітографія -- ионолитография -- іонолітографія -- вакуумно-плазменная микрообработка -- вакумно-плазмова мікрообробка -- ионное внедрение -- іонне впровадження Аннотация: Принципы работы, схемные и конструктивные особенности больших и сверхбольших интегральных микросхем. Доп.точки доступа: Кияшко, Галина Федоровна; Кухарчук, Маргарита Сергеевна ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |