Ф 81 Фотолитография и оптика [Текст] = Fotolitografie und Optik : научное издание / ред.: Я. А. Федотов, Г. Поль. - Москва : "Советское радио" ; Берлин : Техника, 1974. - 392 с. : ил. ; 23см. - 8900 экз.. - (в пер.) : 1.57 р.
Кл.слова (ненормированные): ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ ЭЛЕКТРОНИКА -- ПЛАНАРНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ -- ОСНОВНЫЕ ЗАКОНЫ ОПТИКИ -- ФОТОШАБЛОНЫ -- КООРДИНАТОГРАФЫ -- ФОТОПОВТОРИТЕЛИ -- ФОТОПОВТОРИТЕЛИ Доп.точки доступа: Федотов, Я. А. \ред.\; Поль, Г. \ред.\ ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |