Л 45 Ленинградский институт авиационного приборостроения. Труды [Текст] : сб. науч. тр. / ЛИАП. Вып. 181 : Физические методы и средства неразрушающего контроля в производстве микроэлектронной аппаратуры и ее компонентов / науч. ред. В. А. Лопухин. - Ленинград : ЛИАП, 1986. - 133 с. : ил. ; 21 см. - Библиогр. в конце ст. - 600 экз.. - 1.20 р.
Кл.слова (ненормированные): ИЗДЕЛИЯ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ -- ФОТОЛЮМИНЕСЦЕНЦИЯ -- ИНДУКТИВНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ -- МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА -- ФОТОШАБЛОНЫ Доп.точки доступа: Лопухин, В. А. \науч. ред.\; Ленинградский институт авиационного приборостроения ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |
К 93 Курносов, А. И. Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем [Текст] : учебное пособие для вузов / А. И. Курносов, В. В. Юдин. - 2-е изд., перераб. и доп. - Москва : Высшая школа, 1979. - 367 с. : ил. ; 23см. - 18000 экз.. - (в пер.) : 1.20 р. Содержание: Особенности полупроводникового производства Механическая обработка полупроводниковых материалов Химическая и электрохимическая обработка полупроводников Фотолитография и фотошаблоны Эпитаксия Диффузия Ионная имплантация Конденсация в вакууме Методы защиты поверхности p-n-переходов Сборка и герметизация полупроводниковых приборов и интегральных микросхем Технология изготовления структур на полупроводниковых соединениях Технология изготовления биполярных интегральных микросхем Технология МДП интегральных микросхем
Доп.точки доступа: Юдин, В. В. ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |
Г 74 Готра, Зенон Юрьевич. Технологические основы гибридных интегральных схем [Текст] : научное издание / З. Ю. Готра, Э. М. Мушкарден, Л. М. Смеркло ; под общ. ред. З. Ю. Готры. - Львов : Вища школа, Издательство при Львовском университете, 1977. - 165, [2] с. : рис., табл. ; 22 см. - Библиография в конце книги. - 6300 экз.. - (в пер.) : 0.88 р.
Кл.слова (ненормированные): ТОНКИЕ ПЛЕНКИ -- ТОЛСТЫЕ ПЛЕНКИ -- ФОТОШАБЛОНЫ -- ГИС -- СБОРКА ГИС -- ГИБРИДНЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ Доп.точки доступа: Мушкарден, Эдуард Михайлович; Смеркло, Любомир Михайлович; Готра, Зенон Юрьевич \ред.\ ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |
Ф 81 Фотолитография и оптика [Текст] = Fotolitografie und Optik : научное издание / ред.: Я. А. Федотов, Г. Поль. - Москва : "Советское радио" ; Берлин : Техника, 1974. - 392 с. : ил. ; 23см. - 8900 экз.. - (в пер.) : 1.57 р.
Кл.слова (ненормированные): ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ ЭЛЕКТРОНИКА -- ПЛАНАРНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ -- ОСНОВНЫЕ ЗАКОНЫ ОПТИКИ -- ФОТОШАБЛОНЫ -- КООРДИНАТОГРАФЫ -- ФОТОПОВТОРИТЕЛИ -- ФОТОПОВТОРИТЕЛИ Доп.точки доступа: Федотов, Я. А. \ред.\; Поль, Г. \ред.\ ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |
К 73 Котлецов, Борис Николаевич. Микроизображения: оптические методы получения и контроля [Текст] / Б. Н. Котлецов. - Ленинград : Машиностроение. Ленинградское отделение, 1985. - 240 с : ил. ; 22 см. - Библиогр.: с. 234-239 (142 назв.). - 2850 экз.. - (в пер.) : 1.20 р. Рубрики: Микроизображения--Формирование--Оптические методы. Фотошаблоны для интегральных схем. Микроизображения--Техничекий контроль--Оптические методы. Технический контроль--Микроизображения ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |