М 74 Мокеев, Олег Константинович. Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем [Текст] : учебное пособие для технических училищ / О. К. Мокеев, А. С. Романов. - Издание второе, переработанное и дополненное. - Москва : Высшая школа, 1985. - 312 с. : ил., табл. ; 21.8 см. - 8000 экз.. - (в пер.) : 0.60 р.
Кл.слова (ненормированные): ПОЛУПРОВОДНИКИ -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ -- ХИМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА Доп.точки доступа: Романов, Александр Сергеевич ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |