Г 61 Голото, Иван Данилович. Чистота в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем [Текст] : научное издание / И. Д. Голото, Б. П. Докучаев, Г. Д. Колмогоров. - Москва : Энергия, 1975. - 208 с : граф., ил., рис., табл. ; 20 см. - Библиография в конце с 203-207 (90). - 10000 экз.. - 0.61 р.
Интегральные схемы--Производство Кл.слова (ненормированные): ЧИСТОТА ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ СРЕД Доп.точки доступа: Докучаев, Борис Павлович; Колмогоров, Георгий Дмитриевич ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |