Э 45 Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов [Текст] : научное издание / [Дж. Р. Брюэр, Д. С. Гринич, Д. Р. Херриот и др.] ; под ред. Дж. Р. Брюэра ; пер. с англ. Ф. П. Пресса. - Москва : Радио и связь, 1984. - 336 с. : ил. ; 23 см. - 5700 экз.. - (в пер.) : 1.90 р.
Кл.слова (ненормированные): ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ ТЕХНОЛОГИЯ -- ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ ЛИТОГРАФИЯ Доп.точки доступа: Брюер, Джордж Р.; Гринич, Джеймс С.; Херриот, Дональд Р.; Пресс, Феликс Павлович \пер., ред.\ ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |