Л 38 Легирование полупроводников методом ядерных реакций [Текст] : монография / Л. С. Смирнов [и др.] ; отв. ред. Л. С. Смирнов ; ИФП СО АН СССР. - Новосибирск : Наука Сибирское отделение, 1981. - 181 с. : ил. ; 22.5см. - 1500 экз.. - 1.90 р.
Кл.слова (ненормированные): ЯДЕРНОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВ -- РАДИАЦИОННЫЕ ДЕФЕКТЫ В ПОЛУПРОВОДНИКАХ -- ЯДЕРНОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ КРЕМНИЯ -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ Доп.точки доступа: Смирнов, Леонид Степанович; Соловьев, Сергей Петрович; Стась, Владимир Федосеевич; Харченко, Вячеслав Александрович; Смирнов, Леонид Степанович \отв. ред.\; АН СССР. Сибирское отделение. Институт физики полупроводников ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |