Б 95 Быстров, Юрий Александрович. Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве [Текст] : материал технической информации / Ю. А. Быстров, Е. А. Колгин, Б. Н. Котлецов. - Москва : Радио и связь, 1988. - 167 с. : ил. ; 21 см. - Библиогр.: с. 162 - 166. - 9 000 экз.. - ISBN 5-256-00006-3 : 0.65 р.
Кл.слова (ненормированные): микроэлектронные схемы интегральные -- размеры -- технический контроль -- телевизионные методы контроля -- дифракционные методы контроля -- качество полупроводниковых пластин -- нанесение пленок -- оптическая спектрометрия Аннотация: Методы и средства измерения линейных размеров, толщин и глубин топологических элементов интегральных микросхем. Доп.точки доступа: Колгин, Евгений Алексеевич; Котлецов, Борис Николаевич ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |