Д 36 Деркач, Виталий Павлович. Методы повышения параметров БИС / В. П. Деркач, Г. Ф. Кияшко, М. С. Кухарчук. - Киев : Вища шк., 1986. - 152 с. : рис. ; 20 см. - Лит.: с. 143-152. - 1500 экз.. - 1.40 р. Рубрики: Микросхемы--Радиовещание Кл.слова (ненормированные): биполярные интегральные схемы -- біполярні інтегральні схеми -- оптоэлектронные интегральные структуры -- оптоелектронні інтегральні структури -- акустоэлектронные интегральные структури -- акустоелектронні інтегральні структури -- фотолитография -- фотолітографія -- электронолитография -- електронолітографія -- рентгенолитография -- рентгенолітографія -- ионолитография -- іонолітографія -- вакуумно-плазменная микрообработка -- вакумно-плазмова мікрообробка -- ионное внедрение -- іонне впровадження Аннотация: Принципы работы, схемные и конструктивные особенности больших и сверхбольших интегральных микросхем. Доп.точки доступа: Кияшко, Галина Федоровна; Кухарчук, Маргарита Сергеевна ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |