К 66 Корзо, Виктор Федорович. Диэлектрические пленки в микроэлектронике [Текст] : материал технической информации / В. Ф. Корзо, В. Н. Черняев. - Москва : Энергия , 1977. - 368 с. : ил. ; 21.5см. - (Электронное материаловедение). - Библиогр.: с. 344 - 365. - 7000 экз.. - (в пер.) : 1.35 р.
Кл.слова (ненормированные): пленки тонкие -- микроэлектроника Доп.точки доступа: Черняев, Владимир Николаевич; Корзо, Виктор Фёдорович ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |
Б 51 Берри, Роберт. Тонкопленочная технология [Текст] : монография / Р. Берри, П. Холл, М. Гаррис ; пер. с англ.: В. И. Генкина, Е. И. Гиваргизова. - Москва : Энергия , 1972. - 336 с. : ил. ; 20 см. - Списки лит.: с. 329 - 335. - Пер. изд. : Thin film technology. - 9 000 экз.. - (в пер.) : 1.50 р.
Кл.слова (ненормированные): микроэлектронные схемы интегральные -- пленки тонкие -- получение -- производство Доп.точки доступа: Холл, Питер; Гаррис, Мюррей; Генкин, В. И. \пер. с англ.\; Гиваргизов, Евгений Инвиевич \пер. с англ.\ ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |
П 38 Пленочная микроэлектроника. Пер. с англ. [Текст] : материал технической информации / Г. Сиддол, Л. Пенсак, А. А. Шеферд [и др.] ; под общ. ред. Л. Холлэнда, пер. с англ., под ред., с предисл. М. И. Елинсона. - Москва : Мир , 1968. - 366 с. : ил. ; 22 см. - Библиогр. в конце глав. - Пер. изд. : Thin film microelectronics. - 1 375 экз.. - (в пер.) : 1.87 р.
Кл.слова (ненормированные): микросхемы пленочные -- пленки тонкие Доп.точки доступа: Сиддол, Г.; Пенсак, Л.; Шеферд, А. А.; Холлэнд, Л. \под общ. ред.\; Елинсон, Мордух Ильич \пер. с англ., под ред., авт. предисл.\ ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |
Д 18 Данилин, Борис Степанович. Магнетронные распылительные системы [] : материал технической информации / Б. С. Данилин, В. К. Сырчин. - Москва : Радио и связь, 1982. - 73 с. : ил. ; 21см. - Библиогр.: с. 69 - 72. - 3100 экз.. - 0.25 р. Рубрики: Радиоаппаратура (радиоэлектронная аппаратура) Кл.слова (ненормированные): пленки тонкие -- получение -- распылители магнетронные Доп.точки доступа: Сырчин, Владимир Кимович ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |