Д 18 Данилин, Борис Степанович. Получение тонкопленочных элементов микросхем [Текст] : научное издание / Б. С. Данилин. - Москва : Энергия , 1977. - 136 с. : ил. ; 19см. - (Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры ; вып.10). - Библиогр.: с. 128 - 134. - 10000 экз.. - 0.42 р.
Кл.слова (ненормированные): микросхемы пленочные -- применение -- пленки тонкие -- получение -- применение вакуума ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |