6П2.151
О 58


    Онегин, Е. Е.
    Точное машиностроение для микроэлектроники [Текст] : научное издание / Е.Е. Онегин. - Москва : Радио и связь, 1986. - 22 с. : ил. ; 21см. - 6300 экз.. - 0.25 р.
УДК
Рубрики: Микроэлектроника--Полупроводниковые приборы
Кл.слова (ненормированные):
точное машиностроение -- микроэлектроника

~Экземпляры всего: 1
ТО (1)
Свободны: ТО (1)