П 58 Попов, Владимир Федорович. Процессы и установки электронно-ионной технологии [Текст] : учебное пособие для вузов по спец. электрон. техники / В. Ф. Попов, Ю. Н. Горин. - Москва. : Высшая школа , 1988. - 255 с. : ил. ; 22 см. - Библиогр.: с. 250 - 251. - 6 800 экз.. - ISBN 5-06-001480-0 (в пер.) : 1 р.
Кл.слова (ненормированные): электронно-ионная технология Доп.точки доступа: Горин, Юрий Николаевич; Попов, Владимир Фёдорович ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |
П 58 Попов, Виктор Кузьмич. Расчет и проектирование устройств электронной и ионной литографии [Текст] : материал технической информации / В. К. Попов, С. Н. Ячменев. - Москва : Радио и связь, 1985. - 127 с. : ил ; 21 см. - (Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры). - Загл. обл. : Библиотека технолога РЭА. - Библиогр.: с. 124 - 126. - 4 800 экз.. - 0.45 р.
Кл.слова (ненормированные): микроэлектронные схемы интегральные -- производство -- механизация -- электронно-ионная технология Доп.точки доступа: Ячменев, Станислав Николаевич; Ячменёв, Станислав Николаевич ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |