6П2.151
А 85


   
    Арсенид галлия в микроэлектронике [Текст] = VLSI Elctronics Microstructure Scince / [У. Уиссмен и др.] ; под ред. Н. Айнспрука, У. Уиссмена ; пер. с англ. под ред. В. Н. Мордковича. - Москва : Мир , 1988. - 555 с. : рис., табл. ; 22 см. - Авт. указ. на оборот. тит. л. - Библиогр. в конце глав. - Предм. указ.: с. 548-552. - 4 600 экз.. - ISBN 5-03-000130-1 (в пер.) : 4.90 р.
УДК
Рубрики: Інтегральні мікросхеми--Проектування--Наукові видання
   Електротехнічні матеріали і вироби--Наукові видання

   
Кл.слова (ненормированные):
изготовление интегральных схем -- виготовлення інтегральних схем -- граница раздела -- межа розділу -- полевые транзисторы -- польові транзистори -- цифровые интегральные схемы -- цифрові інтегральні схеми -- гетероструктурный транзистор -- гетероструктурний транзистор -- фотолитография -- фотоліторгафія -- барьеры Шоттки -- бар'єри Шотткі -- матрицы логических элементов -- матриці логічних елементів -- ионная имплантация -- іонна імплантація -- метод Берга-Барретта
Аннотация: Разработки и технология изготовление арсенидгаллиевых интегральных схем, обладающих высокой стойкостью к воздействию радиации и высоких температур.


Доп.точки доступа:
Уиссмен, У.; Френсли, У.; Дункан, У.; Уестфел, Дж.; Айнспрук, Н. \ред.\; Уиссмен, У. \ред.\; Данилин, А. Б. \пер.\; Ерохин, Ю. Н. \пер.\; Налбандов, Б. Г. \пер.\; Эйдельман, Б. Л. \пер.\; Мордкович, В. Н. \ред.\
~Экземпляры всего: 1
ТО (1)
Свободны: ТО (1)