Ч-68 Чистяков, Юрий Дмитриевич. Физико-химические основы технологии микроэлектроники [Текст] : учебное пособие / Ю. Д. Чистяков, Ю. П. Райнова. - Москва : Металлургия, 1979. - 408 с. : рис., табл. ; 21.5см. - 6100 экз.. - (в пер.) : 1.10 р.
Кл.слова (ненормированные): ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ -- МИКРОЭЛЕКТРОНИКА Доп.точки доступа: Райнова, Юлия Петровна ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |