Ш 49 Шермергор, Тимофей Дмитриевич. Пленочные пьезоэлектрики / Т. Д. Шермергор, Н. Н. Стрельцова. - Москва : Радио и связь, 1986. - 137 с. : рис., табл. ; 21 см. - Лит.: с. 132-137. - 6300 экз.. - 0.55 р. Рубрики: Пьезоэлектрические приборы Кл.слова (ненормированные): пьезоматериалы -- пьезоэлектрический эффект -- пьезоэлектроника -- метод получение пленок -- структура пленок -- электрофизческие свойства пленок -- акустика пленок -- оптика пленок -- механические свойства пленок -- тонкопленочные устройства -- пьезоэлектрические полимерные пленки Аннотация: Физические свойства пьезоэлектрических материалов, используемых в микроэлектронике. Доп.точки доступа: Стрельцова, Наталья Николаевна ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |