Х 22 Харченко, Валерий Владимирович. Получение эпитаксиальных структур кремния с контролируемым примесным профилем [Текст] : научное издание / В. В. Харченко ; Акад. наук УзССР, Центр. проект.-конструкт. и технол. бюро науч. приборостроения. - Ташкент : Фан, 1989. - 167 с. ; 20 см. - 1000 экз.. - ISBN 5-648-00390-0 : 2.10 р. Рубрики: Технология неорганических веществ--Металлургия Кл.слова (ненормированные): кремний -- полупроводниковые плёнки Доп.точки доступа: Академия наук Узбекской ССР; Центральное проектно-конструкторское и технологическое бюро научного приборостроения ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |