6П2.151
К 92


    Куприянов, Илья Петрович.
    Технологический микроклимат [Текст] : материал технической информации / И. П. Куприянов. - Москва : "Советское радио", 1976. - 177 с. : ил. ; 21см. - Библиогр.: с. 171 - 176. - 6200 экз.. - 0.54 р.
УДК
Рубрики: Электроника--технологическое оборудования
Кл.слова (ненормированные):
электронная промышленность предприятия -- микроклимат

~Экземпляры всего: 1
ТО (1)
Свободны: ТО (1)

6П2.151
Т 35


   
    Обзоры по электронной технике Термическое оборудование полупроводникового и микроэлектронного производства с лучистым инфракрасным нагревом [Текст]. . Часть 1 / А. А. Зворыкин [и др.]. - Москва : ЦНИИ "Электроника", 1975. - 85 с. : ил. ; 22.5см. - 1880 экз.. - 0.56 р.
УДК
Рубрики: Электроника--технологическое оборудования


Доп.точки доступа:
Зворыкин, А. А.; Александров, В.Е.; Байкальцев, Б.Л.; Кукушкин, А.М.; Прохоров, Ю.И.
~Экземпляры всего: 1
ТО (1)
Свободны: ТО (1)