6П2.151
Ч 49


    Черняев, Владимир Николаевич.
    Технология производства интегральных микросхем [Текст] : учеб. пособие для вузов по спец. "Конструирование и производство радиоаппаратуры" и "Конструирование и производство электронно-вычислительной аппаратуры" / В. Н. Черняев; под ред. А. А. Васенкова. - Москва : Энергия , 1977. - 376 с. : ил. ; 21.5см. - Библиогр.: с. 364-366 (53 назв.). - 22000 экз.. - (в пер.) : 1.01 р.
    Содержание:
Методы описания технологических процессов производства интегральных микросхем
Физико-химические основы технологии интегральных микросхем
Технология элементов гибридных интегральных микросхем
Технология полупроводниковых интегральных микросхем
Сборка интегральных микросхем
УДК
Рубрики: интегральные микросхемы, производство--учебные пособия


Доп.точки доступа:
Васенков, А. А. \под ред.\
~Экземпляры всего: 1
ТО (1)
Свободны: ТО (1)