М 61 Минаков, Валерий Иванович. Производство тонкопленочных микросхем [Текст] : учеб. пособие для подгот. рабочих на производстве / В. И. Минаков, М. З. Коган. - Ленинград : Энергия , 1973. - 175 с. : ил., рис. ; 21.5см. - 12000 экз.. - (в пер.) : 0.47 р. Содержание: Методы получения и электрофизические свойства тонких пленок Тонконленочные элементы и конструкции микросхем Основы технологии производства тонкопленочных микросхем Контроль в производстве тонкопленочных микросхем Вакуумное оборудование для изготовления тонкопленочных микросхем Организация производства и труда на участке вакуумного нанесения тонкопленочных микросхем
Доп.точки доступа: Коган, Михаил Залманович ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |
М 61 Минаков, Валерий Иванович. Производство тонкопленочных микросхем [Текст] : учеб. пособие для подгот. рабочих на производстве / В. И. Минаков, М. З. Коган. - Ленинград : Энергия , 1973. - 176 с. : ил., рис. ; 21.5см. - Библиогр.: с. 174. - 12 000 экз.. - (в пер.) : 0.47 р. Содержание: Методы получения и электрофизические свойства тонких пленок Тонконленочные элементы и конструкции микросхем Основы технологии производства тонкопленочных микросхем Контроль в производстве тонкопленочных микросхем Вакуумное оборудование для изготовления тонкопленочных микросхем Организация производства и труда на участке вакуумного нанесения тонкопленочных микросхем
Доп.точки доступа: Коган, Михаил Залманович ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |