6П2.151
А 72


    Антонов, Владимир Александрович.
    Технология производства электровакуумных и полупроводниковых приборов [Текст] : учеб. пособие для вузов по спец. "Полупроводниковое и электровакуумное машиностроение" / В. А. Антонов. - Москва : Высш. шк., 1979. - 368 с. : табл., рис. ; 22 см. - Библиогр.: с. 365. - 10 000 экз.. - (в пер.) : 1.10 р.
    Содержание:
Основы теории технологических процессов электровакуумного и полупроводникового производства
Физико-химические основы общих технологических процессов производства изделий электронной техники
Физико-химические основы специальных технологических процессов изготовления электровакуумных приборов
Физико-химические основы специальных технологических процессов изготовления электровакуумных приборов
Физико-химические основы специальных технологических процессов изготовления полупроводниковых приборов и микросхем
Основы технологии сборки приборов и микросхем
УДК
Рубрики: электровакуумные приборы--учебные пособия
   електровакуумні прилади--навчальні посібники

   полупроводниковые приборы--учебные пособия

   напівпровідникові прилади--навчальні посібники


~Экземпляры всего: 1
ТО (1)
Свободны: ТО (1)

6П2.151
П 36


    Пичугин, Игорь Геннадиевич.
    Технология полупроводниковых приборов [Текст] : учеб. пособие для вузов по спец. "Полупроводники и диэлектрики" и "Полупроводниковые и микроэлектронные приборы" / И. Г. Пичугин, Ю. М. Таиров. - Москва : Высш. шк., 1984. - 288 с. : ил. ; 21 см. - Библиогр.: с. 287 (15 назв.). - 23 000 экз.. - (в пер.) : 1.10 р.
    Содержание:
Механическая обработка полупроводниковых материалов
Химическая и электрохимическая обработка поверхности полупроводников
Фотохимические процессы в производстве полупроводниковых приборов и интегральных микросхем
Эпитаксиальные процессы в технологии полупроводниковых приборов и интегральных микросхем
Получение электронно-дырочных структур методом диффузии
Получение электронно-дырочных структур методом ионного легирования
Омические контакты и контактные системы
Стабилизация и защита поверхности полупроводниковых приборов
УДК
Рубрики: Полупроводниковые приборы--учебные пособия


Доп.точки доступа:
Таиров, Юрий Михайлович
~Экземпляры всего: 1
ТО (1)
Свободны: ТО (1)