Минаков, Валерий Иванович. Производство тонкопленочных микросхем [Текст] : учеб. пособие для подгот. рабочих на производстве / В. И. Минаков, М. З. Коган. - Л. : Энергия, 1973. - 175 с. : табл., рис. - Библиогр.: с. 174. - Б. ц. Содержание: Методы получения и электрофизические свойства тонких пленок Тонконленочные элементы и конструкции микросхем Основы технологии производства тонкопленочных микросхем Контроль в производстве тонкопленочных микросхем Вакуумное оборудование для изготовления тонкопленочных микросхем Организация производства и труда на участке вакуумного нанесения тонкопленочных микросхем
мікросхеми тонкоплівкові, конструювання та виробництво Доп.точки доступа: Коган, Михаил Залманович Свободных экз. нет |