Б 48 Березин, Геннадий Николаевич. Оптические основы контактной фотолитографии / Г. Н. Березин, А. В. Никитин, Р. А. Сурис. - Москва : Радио и связь, 1982. - 104 с. : ил. ; 23см. - (Массовая б-ка инженера “Электроника” ; вып. 33). - 6800 экз.. - 0.30 р. Рубрики: Фотоаппараты--фотографические процессы--Справочники Кл.слова (ненормированные): теневое изображение -- дифракция -- дифракционные искажения -- фотолитография Доп.точки доступа: Никитин, Аркадий Викторович; Сурис, Роберт Арнольдович ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |